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Humidificación para la producción de semiconductores

Humidificación para la producción de semiconductoresEl control de humedad en la producción de semiconductores se utiliza para prevenir la estática y deformaciones que pueden ocurrir en la superficie de la oblea de silicio y para refrigerar el ambiente de producción.

Una descarga de electricidad estática durante la producción puede dañar la superficie de los semiconductores y perjudica el rendimiento de la producción. El proceso de producción genera calor y éste, a su vez, seca el aire. Dado que el aire seco propicia la acumulación de estática, se usan humidificadores para mantener la atmósfera en una humedad relativa de 55% (%rH). Así se logra disipar la estática naturalmente, y se evita el riesgo de dañar la superficie de los semiconductores.

Sin embargo, las superficies impresas de la oblea de silicio también son sensibles a la humedad. Los tramos conductores de la superficie pueden distorsionarse durante la fabricación, cuando se exponen a niveles inadecuados de humedad. Se requiere un control estricto de humedad de ±0.1°C para el punto de rociado en cualquier periodo de 40 minutos. Toda variación mayor que ésta ocasionará el daño de los tramos conductores y la pérdida del artículo.

Los humidificadores de vapor como el Neptronic SKE brindan este control preciso cuando se usan combinados con un filtro de agua por ósmosis inversa PureFlo.

Aunque el vapor ofrece un control muy estricto, se pueden usar humidificadores por atomización con agua fría especiales, como el JetSpray, ya que la evaporación de la atomización genera un efecto refrigerante adiabático. Esto ayuda a bajar la temperatura durante el proceso de fabricación y reduce la demanda de refrigeración.

JS Humidificadores ofrece un humidificador JetSpray a medida para aplicaciones de semiconductores, que incorpora una válvula de fracción de vuelta que brinda la precisión y continuidad de control requeridas para esta aplicación. Esto no sólo proporciona refrigeración sino que tiene mucho menor costo de funcionamiento que el vapor, ya que utiliza agua fría.